Youibot, הספק המוביל בעולם של פתרונות רובוט ניידים, הודיע לאחרונה כי מערכת הטיפול האוטומטי-חומרים האוטומטי מבוסס AMHS (AMHS) פתרון לוגיסטיקה של חדר נקייה המיועד לתעשיית המוליכים למחצה נפרס בקנה מידה גדול ברחבי העולם, ומשרת יותר מ -300 לקוחות, כולל TSMC, SMIC, טכנולוגיה טכנולוגית HUATIAN ו- Ellobal SemicOndrids. פיתרון זה מכסה את כל שרשרת התעשייה מהכנת מצע, צמיחה אפיטקסיאלית, ייצור רקיקים לאריזה ובדיקה, והפך לכוח מפתח לקידום פיתוח ייצור אינטליגנטי מוליכים למחצה.
כגרעין ענף הטכנולוגיה, ייצור המוליכים למחצה יש דרישות נוקשות לניקיון, דיוק ויציבות בתהליך הייצור. שיטות טיפול בחומרים ידניים מסורתיים אינן יעילות וקלות להכנסת זיהום ושגיאות. עם טכנולוגיית ניווט סלאם ברובוט בעל דיוק גבוה ומערכת הרובוט המורכבת, UAI התגברה בהצלחה על בעיית האוטומציה הלוגיסטית בייצור מוליכים למחצה בעזרת AMHS. מוצרי ה- AMR (הרובוט הסלולרי האוטונומי) יכולים לפעול ביציבות בסביבה נקייה אולטרה-נקייה בכיתה 1, עם ערך רטט הנשלט בקפדנות מתחת 0. 1G, העומד בדרישות של דיכוי מיקרו-ויברציה ברמת הפסק, והעברת אישורים בינלאומיים של CE וחצי, עם אקו"ם מפעיל של עד 1 מ"מ.
לפיתרון מבוסס AMHS לא רק ביצועי חומרה מצוינים, אלא גם מצויד במערכת שיגור צי שפותחת בעצמה. המערכת תומכת בפעולות שיתופיות רב-מודל ורב-סצנה, ויכולה לשלוח יותר מ- 1, 000 רובוטים בו זמנית כדי להשיג תכנון נתיב יעיל והקצאת משימות דינאמית. בנוסף, המערכת תומכת בפונקציות תכנות חזותיות ועריכת מפות, שיכולות להתאים במהירות נתיבי לוגיסטיקה בהתאם לצורכי הייצור, ותומכת בהרחבת מפות, שחזור ושחזור מקומי, המשפרת מאוד את הגמישות והמדרגיות של קו הייצור.
ביישומים מעשיים, מערכת ה- AMR של Youai Zhihe הוצבה בהצלחה בקווי הייצור של חברות מוליכים למחצה ידועות בעולם. לדוגמה, בסדנת 8- אינץ 'של מפעל פליקי רקיק בינלאומי, Youai Zhihe משתמשת 50+ OW8 קלטות קלטות מטפלות ברובוטים כדי לממש את הזרימה האוטונומית של POD של SMIF בין מכונות ליתוגרפיה, חריטת מכונות, CMP ציוד אחר בעזרת העזרה של ה- AMHS, שיטות AMHS. הפרויקט מקטין מאוד את עלויות העבודה, משפר משמעותית את יעילות הטיפול בחומרים ומספק ערבות אמינה לייצור הרציף של המפעל × 7 שעות ביום.
"תעשיית המוליכים למחצה נמצאת בתקופה קריטית של הזדמנות לשדרוג אינטליגנטי, ואנחנו מחויבים לעזור ללקוחות להשיג ייצור ותפעול יציב, גמיש ויעיל באמצעות פתרונות רובוטיקה חדשניים ופתרונות לוגיסטיים חכמים", אמר מייסד Youai Zhihe. בעתיד נמשיך להעמיק את תחום המוליכים למחצה ולהאיץ את תהליך הטרנספורמציה האינטליגנטי של ייצור מוליכים למחצה גלובלי. "